激光干涉儀以光波為媒介，具備測(cè)量精度高、精確測(cè)量速度更快、檢測(cè)范圍大、zgao限速下屏幕分辨率高的特性，其光波波長(zhǎng)可立即對(duì)米開展界定并追溯至國(guó)家行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。因而，干涉儀普遍使用于數(shù)控車床、pcb鉆孔設(shè)備、座標(biāo)測(cè)量?jī)x、位移計(jì)等儀器儀表的質(zhì)量管理與校正及其產(chǎn)品研發(fā)、高檔設(shè)備制造等行業(yè)。
干涉儀日常使用特別注意的事項(xiàng)，以激光波長(zhǎng)為已經(jīng)知道長(zhǎng)短，使用邁克耳遜干涉系統(tǒng)精確測(cè)量移動(dòng)的通用性長(zhǎng)度測(cè)量。
1、激光干涉儀應(yīng)妥當(dāng)?shù)胤诺礁稍?、清理的屋子里，避免震?dòng)，儀器設(shè)備挪動(dòng)時(shí)，應(yīng)貼緊基座，防止滑軌形變。
2、電子光學(xué)零件無需時(shí)，應(yīng)儲(chǔ)放在整潔的干躁盆中，以避免起霉。后視鏡、分光鏡一般不允許擦洗，必需擦洗時(shí)，須先用配件刷子當(dāng)心撣去塵土，再用脫油清理棉花球滴上乙醇和醫(yī)用溶液輕拭。
3、傳動(dòng)系統(tǒng)構(gòu)件應(yīng)該有較好的潤(rùn)化。尤其是滑軌、滾珠絲桿、螺帽與孔軸一部分，使用t5高精密儀表盤油潤(rùn)化。
4、使用時(shí)，各調(diào)整位置用勁要適度，不可以強(qiáng)旋、硬扳。
5、滑軌面滾珠絲桿應(yīng)避免刮傷、生銹，用畢后，仍維持不失油情況。
6、激光干涉儀通過高精密調(diào)節(jié)的儀器設(shè)備構(gòu)件上的螺釘，都涂有清漆，不可以私自旋轉(zhuǎn)。