日本小坂kosaka 臺階儀 | 微細形狀測定機et200a產(chǎn)品詳細信息
日本小坂kosaka 臺階儀 | 微細形狀測定機et200a概述
et200a基于windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析，包括半 導體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、mems、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學器件、 薄膜/化學涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實現(xiàn)高 精度表面形貌分析應用。et200a 能可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨 損度、薄膜應力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。 et200a 配備了各種型號探針，提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色ccd 原位采集設計，可直接觀察到探針工作時的狀態(tài)，更方便準確的定位測試區(qū)域。
日本小坂kosaka 臺階儀 | 微細形狀測定機et200a特點
★et200a臺階儀適用于二次元表面納米等級段差臺階測定、粗糙度測定。
★et200a臺階儀擁有高精度．高分解能，搭配一體花崗巖結(jié)構(gòu)，安定的測量過程及微小的測定力可對應軟質(zhì)樣品表面。
★該型號臺階儀采用直動式檢出器，重現(xiàn)性高。
日本小坂kosaka 臺階儀 | 微細形狀測定機et200a產(chǎn)品參數(shù)
大試片尺寸 φ200mm×高度50mm
重現(xiàn)性 1σ ≤ 1nm
測定范圍 z:600um x:100mm
分解能 z:0.1nm x:0.1um
測定力 10un~500un (1mg-50mg)
載物臺 φ160mm, 手動360度旋轉(zhuǎn)